オゾンの生成方法　オゾン生成とＮＯｘの関係 < オゾンの技術

方　　式	放　　電				紫外線（波長：185nm）	電気分解
方　　式	無声放電		沿面放電		紫外線（波長：185nm）	電気分解
発生器例	放電管　短ギャップ放電板		セラミック誘電体放電素子		低圧水銀ランプ	水電解セル
電気諸元	電圧：10～20kV 周波数：50～2kHz		電圧：3～10kVpp 周波数：50～2kHz		周波数：50Hz 電　力：数W～数百W	電圧：数V直流
原　　理	O2＋e(＞5eV)→2O O＋O2＋M→O3＋M				O2hν(185nm)→2O O＋O2＋M→Ｏ3＋M	H2O→O3＋6H＋6e
原　　料	酸素	乾燥空気	酸素	乾燥空気	自然空気	イオン交換水
発生効率（g/kWh）	80〜120	40〜60	50〜100	25〜50	1.5〜3.0	10〜20
濃　　度（g/m³）	100〜250	〜40	50〜150	1〜10	1〜10	100〜300
発生量（g/h）	〜60k	〜30k	〜50	数mg〜10	数μg〜1	0.1〜1k
特　　徴	大量製造〜300kg/h NOx〜1/100 O3濃度		小型軽量		装置が簡単	高濃度可水分含有